1. Лазерная головка обнаружения и этап сканирования образца интегрированы, структура очень стабильна, а защита от помех сильна.
2. Прецизионное устройство позиционирования зонда, регулировка лазерного пятна очень проста.
3. Образец с одноосным приводом автоматически приближается к датчику вертикально, так что кончик иглы перпендикулярен сканируемому образцу.
4. Интеллектуальный метод подачи иглы автоматического обнаружения пьезоэлектрической керамики под давлением с электроприводом защищает зонд и образец.
5. Автоматическое оптическое позиционирование, отсутствие необходимости фокусировки, наблюдение в режиме реального времени и позиционирование области сканирования пробы зонда.
6. Противоударный метод пружинной подвески, простой и практичный, хороший противоударный эффект
7.Металлический экранированный звуконепроницаемый бокс, встроенный высокоточный датчик температуры и влажности, мониторинг рабочей среды в режиме реального времени.
8. Встроенный пользовательский редактор нелинейной коррекции сканера, нанометровая характеристика и точность измерения выше 98%.
| Рабочий режим | сенсорный режим, сенсорный режим |
| Дополнительный режим | Трение/поперечная сила, амплитуда/фаза, магнитная/электростатическая сила |
| кривая спектра силы | Кривая силы FZ, кривая RMS-Z |
| Диапазон сканирования XY | 20*20 мкм, дополнительно 50*50 мкм, 100*100 мкм |
| Z-диапазон сканирования | 2,5 мкм, дополнительно 5 мкм, 10 мкм |
| Разрешение сканирования | Горизонтальный 0,2 нм, вертикальный 0,05 нм |
| Размер образца | Φ≤90мм, В≤20мм |
| Пример путешествия по этапу | 15*15 мм |
| Оптическое наблюдение | 4-кратный оптический объектив/разрешение 2,5 мкм |
| Скорость сканирования | 0,6 Гц-30 Гц |
| Угол сканирования | 0-360° |
| Рабочая среда | Операционная система Windows XP/7/8/10 |
| Коммуникационный интерфейс | USB2.0/3.0 |
| Амортизирующий дизайн | Пружинная подвеска/металлическая экранированная коробка |
