1. Интегрированная конструкция оптического металлографического микроскопа и атомно-силового микроскопа, мощные функции
2. Он имеет функции визуализации как оптического микроскопа, так и атомно-силового микроскопа, которые могут работать одновременно, не влияя друг на друга.
3. В то же время он имеет функции оптического двумерного измерения и трехмерного измерения атомно-силового микроскопа.
4. Головка лазерного детектирования и столик сканирования образца интегрированы, структура очень стабильна, а защита от помех сильна.
5. Прецизионное устройство позиционирования зонда, регулировка выравнивания лазерного пятна очень проста.
6. Образец с одноосным приводом автоматически приближается к зонду вертикально, так что кончик иглы сканируется перпендикулярно образцу.
7. Интеллектуальный метод подачи иглы автоматического обнаружения пьезоэлектрической керамики с приводом от двигателя защищает зонд и образец.
8. Система оптического позиционирования со сверхвысоким увеличением для точного позиционирования зонда и области сканирования образца.
9. Встроенный пользовательский редактор нелинейной коррекции сканера, нанометровая характеристика и точность измерения выше 98%.
Технические характеристики:
| Рабочий режим | сенсорный режим, сенсорный режим |
| Дополнительный режим | Трение/поперечная сила, амплитуда/фаза, магнитная/электростатическая сила |
| кривая спектра силы | Кривая силы FZ, кривая RMS-Z |
| Диапазон сканирования XY | 50*50 мкм, дополнительно 20*20 мкм, 100*100 мкм |
| Z-диапазон сканирования | 5 мкм, дополнительно 2 мкм, 10 мкм |
| Разрешение сканирования | Горизонтальный 0,2 нм, вертикальный 0,05 нм |
| Размер образца | Φ≤68мм, В≤20мм |
| Пример путешествия по этапу | 25*25 мм |
| Оптический окуляр | 10X |
| Оптический объектив | Планахроматические объективы 5X/10X/20X/50X |
| Метод освещения | Система освещения LE Kohler |
| Оптическая фокусировка | Грубая ручная фокусировка |
| Камера | 5-мегапиксельный CMOS-сенсор |
| отображать | 10,1-дюймовый плоский дисплей с функцией измерения в виде графика |
| Скорость сканирования | 0,6 Гц-30 Гц |
| Угол сканирования | 0-360° |
| Рабочая среда | Операционная система Windows XP/7/8/10 |
| Коммуникационный интерфейс | USB2.0/3.0 |
